該設(shè)備集磁控濺射與離子鍍膜技術(shù)為一體，主要用于各大院校及科研單位，可滿足多種實(shí)驗(yàn)要求，對(duì)提高顏色一致性、沉積速率及化合物成份的穩(wěn)定性提供了解決方案。
     1、留多種結(jié)構(gòu)靶位，靈活配置，以滿足不同領(lǐng)域的科研開發(fā)；
     2、可選配加熱系統(tǒng)、偏壓系統(tǒng)、離化系統(tǒng)、三維夾具等裝置；
     3、膜層結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，附著力強(qiáng)，致密性好，工藝可重復(fù)性好；
     4、自動(dòng)化程度高、操作簡單靈活、性能穩(wěn)定、易維護(hù)；
     5、外形美觀、結(jié)構(gòu)緊湊、占地面積小。
     可鍍基體材料：黃銅、鋅合金、不銹鋼、陶瓷、玻璃、塑料、陶瓷等；
     主要膜系：金屬層如鈦、鉻、銀、銅或金屬化合物膜層，如TiN、TiCN、TiC、TiO2、TiAlN、CrN、ZrN、類金剛石薄膜等。
     主要顏色：金色系列、玫瑰金、咖啡色、銀白色、槍黑色、藍(lán)色、七彩色等。
     備注：設(shè)備可根據(jù)客戶要求定制。